[发明专利]一种扫描电子显微镜标准物质及其制作方法无效
| 申请号： | 03116182.0 | 申请日： | 2003-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN1536345A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | 盛克平;丁听生;陆国辉 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/225;H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 20023*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及计量测试标准量值传递技术领域，尤其是涉及一种用于校准扫描电子显微镜放大倍率的标准物质及其制作方法。它的基板上镀有测量膜，测量膜上镀有导电层，测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵，a.选取单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液、选取基板；b.清洗基板；c.将单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液滴洒在基板上；d.将基板与水平面呈0°～5°放入净化室中自然干燥。本发明扩大了扫描电子显微镜的校准范围(1000倍～200000倍)，并能在其校准范围内给出溯源值并附有给定置信区间的不确定度，使得扫描电子显微镜在被校准范围内使用中符合ISO9000质量保证体系的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子显微镜 标准 物质 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电子显微镜标准物质，其特征是：它的基板上镀有测量膜，测量膜上镀有导电层，测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵。
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