[发明专利]新型纳米多孔薄膜及其制备方法无效
申请号: | 03112669.3 | 申请日: | 2003-01-09 |
公开(公告)号: | CN1444292A | 公开(公告)日: | 2003-09-24 |
发明(设计)人: | 戴松元;王孔嘉;曾隆月;张华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院等离子体物理研究所 |
主分类号: | H01L31/042 | 分类号: | H01L31/042;H01L31/18 |
代理公司: | 合肥华信专利事务所 | 代理人: | 余成俊,过锡根 |
地址: | 230031*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公了一种新型纳米多孔薄膜及其制备方法,是一种二氧化钛TiO2、二氧化锡SnO2、三氧化钨WO3、氧化锌ZnO或氧化锆ZrO半导体材料薄膜,薄膜中有不规则孔。其制备方法,其特征在于包括以下步骤:1.制备半导体材料的纳米胶体溶液,2.加热,使胶体溶液变成有团聚颗粒沉淀的乳浊液,3.浓缩乳浊液,4.加入高分子表面活性剂并拌均成浆料,5.将浆料涂膜一次或多次,6.烧结。本发明通过制成多层膜,掺入大颗粒,光电转换效率提高10-30%。 | ||
搜索关键词: | 新型 纳米 多孔 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、新型纳米多孔薄膜,其特征在于是一种二氧化钛TiO2、二氧化锡SnO2、三氧化钨WO3、氧化锌ZnO或氧化锆ZrO半导体材料薄膜,薄膜中有不规则孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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