[发明专利]改进型蒸镀方法无效
| 申请号： | 03104834.X | 申请日： | 2003-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN1523131A | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | 张书文;林国森;陈奇民 | 申请（专利权）人： | 胜园科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种改进型蒸镀方法，是通过一预定压力、温度与时间，先将粉末状的蒸镀材料压制成致密颗粒状或锭状，由于压制后的蒸镀材料比粉末状更为致密，单位体积内可容纳更多质量的蒸镀材料，且由于压制后的蒸镀材料更均匀致密及结晶性质一致，从而可提高热传导效率，使加热功率更稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 方法 | ||
【主权项】：
1.一种改进型蒸镀方法，是通过一预定压力、温度与时间，先将粉末状的蒸镀材料(10)压制成致密状，完成压制后的蒸镀材料(10)在蒸镀时，由于压制后的蒸镀材料(10)比粉末状更为致密，单位体积内可容纳更多质量的蒸镀材料(10)，且由于压制后的蒸镀材料(10)均匀致密，可提高热传导效率，使加热功率更稳定，其特征在于，该改进型蒸镀方法蒸镀步骤包括：a)取原为粉末状的蒸镀材料(10)，通过预定压力、温度与时间将粉末状的蒸镀材料(10)压制成致密状；b)将经过步骤a制程的蒸镀材料(10)装填于蒸镀室(20)内的坩锅(21)内，且蒸镀室(20)内包含一需蒸镀形成薄膜的基板(30)；c)利用一真空系统抽气使蒸镀室(20)内成真空状态；d)一加热装置加热步骤b的蒸镀材料(10)，使蒸镀材料(10)升华成单原子到达基板(30)；e)完成蒸镀，基板(30)上形成所需的薄膜。
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