[发明专利]常压射频和直流混合型冷等离子体系统及其喷枪

摘要

一种常压射频和直流混合型冷等离子体系统及其喷枪，包括喷枪、射频电源、直流电源、供气源，其特征在与：该喷枪包括一外壳，该外壳一端与供气源连接，另一端设有喷口，于该外壳内设有射频电极和包覆在该射频电极外围的地电极，以及在地电极以外的直流电极，该射频电极与射频电源连接，该地电极接地，该直流电极与直流电源连接，该射频电极，该地电极和该直流电极之间分别设有绝缘体，该射频电极与该地电极之间形成射频放电区间，该地电极和该直流电极之间形成直流放电区间，该射频放电区间一端与进气导管相通，该进气导管与供气源连通，另一端通过地电极多孔喷口与该直流加速段贯通，经射频放电区间击穿电离后的等离子体，通过地电极多孔喷口流入直流加速段，再经直流加速段直流电场的进一步电离和加速后由外壳喷口向外喷出冷等离子体，放电是在常压下进行的。本发明能在大气压下稳定工作并产生低电压、大面积、由射频击穿电离，并有直流偏压进一步加速和电离的冷等离子体束流，从而为等离子体技术在清洗、杀菌、消毒等广泛领域的应用开辟了道路。

主权项

1、一种常压射频和直流混合型冷等离子体系统，包括喷枪、射频电源、直流电源、供气源，其特征在于：该喷枪包括一外壳，该外壳一端封闭，另一端设有喷口，于该外壳内设有射频电极、包覆在该射频电极外围的地电极，以及直流电极。该射频电极与射频电源连接，该地电极接地，该直流电极与直流电源连接。该射频电极与地电极之间设有绝缘体，该直流电极和该地电极之间也设有绝缘体，该射频电极与地电极之间设有射频放电区间，该直流电极与该地电极之间设有直流放电区间，该直流放电区间称为直流加速段，该射频电极与该地电极之间的放电区间一端与进气导管相通，该进气导管与供气源连通，由该射频放电区间所产生的等离子体通过该地电极的多孔喷口进入直流加速段，再由直流加速段的直流偏压电场进一步加速和电离等离子体，后经由外壳喷口向外喷出冷等离子体，放电是在常压下进行的。