[发明专利]光电集成加速度地震检波器无效
| 申请号： | 03100433.4 | 申请日： | 2003-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1425926A | 公开（公告）日： | 2003-06-25 |
| 发明（设计）人： | 陈才和 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01V1/18 | 分类号： | G01V1/18 |
| 代理公司： | 天津市学苑有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 赵尊生 |
| 地址： | 30007*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光电集成加速度地震检波器，属于加速度及地震波检测装置。在金属壳体内设置光电集成加速度地震检波器芯片和激光器，其特征在于：芯片是由硅基底，其上覆盖二氧化硅缓冲层及集成于硅基底上的光波导偏振器、M－Z波导干涉仪、声光指状换能器、光电探测器、光电探测器、温度补偿和解调及信号处理电路组成，在硅基底上蚀刻出十字梁支撑的硅质量块构成简谐振子。其特征在于M－Z波导干涉仪的输入端与激光器相连，输出端与光电探测器相连，信号臂通过十字硅梁的其中一梁，参考臂与平板波导，声光指状换能器相连。本发明的有益结果是可实现微型化，低成本批量生产，及宽频带、高灵敏度、保真度好、抗电磁干扰的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 集成 加速度 地震 检波器 | ||
【主权项】：
1.一种光电集成加速度地震检波器，在金属壳体内设置光电集成加速度地震检波器芯片和激光器，其特征在于：芯片是由硅基底，其上覆盖二氧化硅缓冲层及集成于硅基底上的光波导偏振器、M-Z波导干涉仪、声光指状换能器、光电探测器、光电探测器、温度补偿和解调及信号处理电路组成，在硅基底上蚀刻出十字梁支撑的硅质量块构成简谐振子。
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