[发明专利]具有嵌入式环形振荡器的散射测量法结构及使用该结构的方法有效
| 申请号： | 02828600.6 | 申请日： | 2002-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1623097A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | H·E·纳里曼 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G01R31/265 | 分类号： | G01R31/265;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明大致关于具有嵌入式环形振荡器(20)的散射测量法结构及使用该结构德各种方法。在所列举的一个实施例中，该方法包含有形成由具有用于复数个N沟道晶体管的复数个栅极结构(26)的第一格栅结构(22)和具有用于复数个P沟道晶体管的复数个栅极结构(28)的第二格栅结构(24)构成的环形振荡器(20)、利用散射测量法工具(44)测量在第一格栅结构(22)和/或第二格栅结构(24)中至少其中一个栅极结构的临界尺寸和/或轮廓。在另一个实施例中，该方法更包含有将测量得到的栅极结构的临界尺寸和/或轮廓与模型相比较，以便预测环形振荡器(20)的至少一个的电气性能特性。在又一个实施例中，该方法还包含有形成至少一个可作为环形振荡器(20)一部分的包含有复数个特性(32)的电容性负载结构(30)，和利用散射测量法工具(44)测量包含电容性负载结构(30)的特性(32)的至少一个临界尺寸和/或轮廓。该方法还包含有将测量得到的特性(32)的临界尺寸和/或轮廓与模型相比较以便预测环形振荡器(20)的至少一个的电气性能特性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 嵌入式 环形 振荡器 散射 测量 结构 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括：形成环形振荡器(20)，环形振荡器(20)包括具有用于复数个N沟道晶体管的复数个栅极结构(26)的第一格栅结构(22)和具有用于复数个P沟道晶体管之复数个栅极结构(28)的第二格栅结构(24)；和利用散射测量法工具(44)测量至少一个所述第一格栅结构(22)和所述第二格栅结构(24)中的至少一个所述栅极结构的至少一个临界尺寸和轮廓。
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