[发明专利]微致动器、微致动器装置、光学开关以及光学开关阵列有效
| 申请号： | 02818130.1 | 申请日： | 2002-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1555339A | 公开（公告）日： | 2004-12-15 |
| 发明（设计）人： | 赤川圭一;铃木纯儿;石津谷徹;铃木美彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;顾红霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 微致动器 装置 光学 开关 以及 阵列 | ||
【主权项】：
1.一种微致动器，其特征在于该微致动器包括一个固定部分和一个设置成可以相对于固定部分移动的活动部分，上述固定部分具有一个第一电极部分，和 上述活动部分具有一个第二电极部分，该第二电极部分可以在该第二电极部分和上述第一电极部分之间通过施加在上述第一电极部分和上述第二电极部分上的电压而产生静电力；以及一条设置在磁场中的电流路径，当电流穿过此电流路径时产生罗伦兹力。
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