[发明专利]微致动器、微致动器装置、光学开关以及光学开关阵列有效
| 申请号： | 02818130.1 | 申请日： | 2002-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1555339A | 公开（公告）日： | 2004-12-15 |
| 发明（设计）人： | 赤川圭一;铃木纯儿;石津谷徹;铃木美彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;顾红霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微致动器 装置 光学 开关 以及 阵列 | ||
【说明书】：
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