[发明专利]用于光刻胶的感光树脂组合物有效
| 申请号： | 02816205.6 | 申请日： | 2002-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN1543591A | 公开（公告）日： | 2004-11-03 |
| 发明（设计）人： | 金柄郁;赵俊衍;权京一;朴洙晶;俞载元 | 申请（专利权）人： | 东进瑟弥侃株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;宋志强 |
| 地址： | 大韩民国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用作光刻胶的感光树脂组合物，特别涉及一种用于光刻胶的感光树脂组合物，该组合物包括：通过选择使用特定的化合物或控制未反应单体的比例以获得的丙烯酸酯共聚物，和1，2－二叠氮醌化物。该组合物在几方面性能优异，如：介电特性、平滑度、透明性、显影性能、残膜率、耐化学品性和耐热性，以及灵敏度和分辨率。特别是它促进夹层电介质中的图案易于形成，此外，由于甚至在制为厚膜时仍具有优异的透射率，它可在LCD制造过程中用作光刻胶。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 感光 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1、一种感光树脂组合物，包括：(A)通过共聚如下物质获得的一种丙烯酸类共聚物：i)由如下通式1表示的化合物：[通式1]![]()
其中R1和R2可以相同或不同且独立地为氢原子、C1～C5烷基或C1-C5烷氧基；ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；iii)包含环氧基团的不饱和化合物；和iv)烯属不饱和化合物；和(B)1，2-二叠氮醌化合物。
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