[发明专利]Pt－Co基溅射靶无效
| 申请号： | 02808205.2 | 申请日： | 2002-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1503854A | 公开（公告）日： | 2004-06-09 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·桑德林;伯恩德·金克尔;张威利;菲利浦·科尔诺 | 申请（专利权）人： | 黑罗伊斯有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01F41/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉;丁业平 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有多相的Co－Cr－B－Pt溅射靶合金。合金可包括Cr、B、Ta、Nb、C、Mo、Ti、V、W、Zr、Zn、Cu、Hf、O、Si和N。该合金通过将Pt粉末与Co－Cr－B主合金混合，球磨粉末和热等静压以密化粉末成合金而制得。 | ||
| 搜索关键词： | pt co 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种贵金属磁性溅射靶，包含Pt、Co和至少2at％的至少一种选自Cr、B、Ta、Nb、C、Mo、W、Zr、Zn、Cu、Hf、O、Si和N的元素。
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