[发明专利]陶瓷膜及其制造方法、以及铁电体电容器、半导体装置及其他元件有效
| 申请号： | 02802326.9 | 申请日： | 2002-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1464861A | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 名取荣治;木岛健;古山晃一;田崎雄三 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | C01B13/14 | 分类号： | C01B13/14;C01G1/00;H01B17/60;H01B19/00;H01L27/10;B32B18/00;B32B9/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种陶瓷膜的制造方法，包括以下步骤：通过使含有第一原料液和第二原料液的原料液结晶，形成一陶瓷膜。该第一原料液与第二原料液的种类不同，前者用于产生铁电体而后者用于产生ABO类的氧化物，前者所含的溶剂的极性与后者所含的溶剂的极性不同，第一原料液和第二原料液发生相分离而形成膜，从而在陶瓷膜的平面方向断续地形成由第一原料液形成的第一晶体，并且形成由第二原料液形成的第二晶体，这样介于第一晶体之间。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷膜 及其 制造 方法 以及 铁电体 电容器 半导体 装置 其他 元件 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷膜，包含第一晶体层及第二晶体层顺序层压后的层压体，所述第二晶体层比所述第一晶体层的熔点低。
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