[发明专利]金属隔膜阀有效
| 申请号： | 02802325.0 | 申请日： | 2002-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN1464950A | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 糸井茂 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | F16K7/14 | 分类号： | F16K7/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;杨松龄 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供用于半导体制造装置等的金属隔膜阀是使通过阀本体的流入路、从阀室流至流出路，通路阻力小，虽然小型，但通过的流量大；本发明的金属隔膜阀由备有流入路(6)阀室(8)流出路(7)的阀体(2)、金属隔膜(3)、驱动装置(4)、环状沟(5)构成，并具有以下特征：前述环状沟(5)的沟宽相比流出路(6)的直径要大，同时，与环状沟(5)流出路(6)之间交叉部分的有效横截面积要比流出路(6)的横截面积大。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 隔膜 | ||
【主权项】：
1.金属隔膜阀，包括在连通流入路和流出路的阀室底面设置阀座的阀体、为保持阀室的气密性而在阀体设置中央部向上膨出的金属隔膜、使金属隔膜覆盖压在阀座上并从阀座上离开时恢复自己原来的形状的驱动装置、在阀室的下方形成并与流出路连通的环状沟构成，其特征在于，与前述环状沟的沟宽相比圆形流出路的直径要大，并且环状沟和流出路之间的交叉部分的有效横截面积比流出路的横截面积大。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社富士金，未经株式会社富士金许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02802325.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：利用碳纳米管设计的非挥发性随机存储器及制备方法
- 下一篇：数控恒温输水器
