[实用新型]具有叠层铁磁层的钉扎薄膜无效
| 申请号： | 02293463.4 | 申请日： | 2002-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN2591723Y | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01F10/00 | 分类号： | H01F10/00;H01L43/00;B32B5/00;B32B33/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及具有叠层铁磁层的钉扎薄膜，该钉扎薄膜包括一由硅或玻璃做成的基片和在基片上设置的一由Ta或(NiXFe100－X)YCr100－Y，其中77＜X＜83，50＜Y＜70做成的缓冲层、一第二铁磁层及设在其上的一防止第二铁磁层表面氧化的保护层，还包括：一诱导反铁磁层形成(111)织构的引导层，设于缓冲层上，该引导层具有(111)织构；一由Mn原子百分含量为55％至70％的锰合金做成的反铁磁层，设于引导层上，该反铁磁层具有(111)织构；一由Ni、NiXFe100－X、或CoYFe100－Y，其中77＜X＜83，87＜Y＜93做成的第一铁磁层，设于反铁磁层上；及一由该第一铁磁层氧化而成的纳米氧化层，设于第一铁磁层和第二铁磁层之间；本实用新型的钉扎薄膜的反铁磁层厚度明显减薄，钉扎场更大，而且还实现了Ni－Mn对Co－Fe的钉扎。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 叠层铁磁层 薄膜 | ||
【主权项】：
1、具有叠层铁磁层的钉扎薄膜，包括一由硅或玻璃做成的基片和在基片上设置的一由Ta或(NiXFe100-X)YCr100-Y，其中77＜X＜83，50＜Y＜70做成的缓冲层、一第二铁磁层及设在其上的一防止第二铁磁层表面氧化的保护层，其特征在于，还包括：一诱导反铁磁层形成(111)织构的引导层，设于缓冲层上，该引导层具有(111)织构；一由Mn原子百分含量为55％至70％的锰合金做成的反铁磁层，设于引导层上，该反铁磁层具有(111)织构；一由Ni、NiXFe100-X、或CoYFe100-Y，其中77＜X＜83，87＜Y＜93做成的第一铁磁层，设于反铁磁层上；及一由该第一铁磁层氧化而成的纳米氧化层，设于第一铁磁层和第二铁磁层之间。
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