[实用新型]带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头

摘要

一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头，包括含有头部、安装平台和底座的扫描探头，含有底架、支柱和顶架的支架，n≥3根的弹簧。弹簧一端均匀地固定在支架的顶架上，另一端固定在扫描探头头部的外罩上。由弹簧将其扫描探头悬吊在支架的中间的空中。支架的底架置放在防震台上。来自外界的震动和冲击波引起的震动由防震台和弹簧双重减震，获得良好的减震和防震效果。本实用新型的减震结构不仅结构简单，组装容易，使得扫描探头的抗震能力强，而且稳定性好，提高了分辨率的精度。

主权项

1、一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头，包括：含有头部(3)、安装平台(4)和底座(5)的扫描探头(3-5)和防震台(6)，其中头部(3)含有外罩(301)，外罩(301)与安装平台(4)衔接处有外沿(302)，外沿(302)上置有悬吊螺栓(303)，其特征在于包括支架(1)和弹簧(2)，其中支架(1)包括底端的底架(101)、顶端的顶架(103)、底架(101)与顶架(103)之间的支柱(102)；弹簧(2)有n≥3根，一端均匀分布的固定在支架(1)的顶架(103)上，另一端固定在扫描探头(3-5)头部(3)的外罩(301)外沿(302)上的悬吊螺栓(303)上，或者固定在外罩(301)上的悬吊环上，或者直接固定在头部(3)的外罩(301)上，支架(1)的底架(101)置放在防震台(6)上。