[发明专利]一种功率型多晶硅发射极晶体管有效
申请号: | 02159740.5 | 申请日: | 2002-12-30 |
公开(公告)号: | CN1421933A | 公开(公告)日: | 2003-06-04 |
发明(设计)人: | 李思敏 | 申请(专利权)人: | 李思敏 |
主分类号: | H01L29/72 | 分类号: | H01L29/72 |
代理公司: | 北京北新智诚专利代理有限公司 | 代理人: | 张卫华 |
地址: | 100011 北京市朝阳*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种功率型多晶硅发射极晶体管。在上层为N-型高电阻率层,下层为N+型低电阻率层的硅衬底片的上表面有多个高掺杂浓度发射区,发射区的上面连接掺杂多晶硅层,掺杂多晶硅层与发射极金属层连接,每个发射区的周围有基区,基区中间有掺杂浓度比基区高的浓基区,浓基区与基极金属层相连,硅衬底片的下层为集电极,集电极的下表面与集电极金属层相连,浓基区的深度大于基区。本功率型多晶硅发射极晶体管具有抗雪崩能力强,可靠性高的突出特点,特别适合中等开关速度而瞬间功率很高的应用场合。 | ||
搜索关键词: | 一种 功率 多晶 发射极 晶体管 | ||
【主权项】:
1.一种功率型多晶硅发射极晶体管,在上层为N-型高电阻率层,下层为N+型低电阻率层的硅衬底片的上表面有多个高掺杂浓度发射区,所述发射区的上面连接掺杂多晶硅层,所述掺杂多晶硅层与发射极金属层连接,每个发射区的周围有P型基区,所述P型基区中间有掺杂浓度比所述P型基区高的P+型浓基区,所述P+型浓基区与基极金属层相连,硅衬底片的下层为集电极,所述集电极的下表面与集电极金属层相连,其特征在于:所述P+型浓基区的深度小于所述P型基区;所述P+型浓基区的底部和侧面与所述P型基区相接触。
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