[发明专利]一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法

摘要

本发明公开了一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法，它是以电解氯化氢水溶液获得的氯合成四氯化硅，获得的氢制备多晶硅；以还原炉的尾气制备石英玻璃；淋洗石英玻璃打砣机的尾气，淋洗后排出的尾液送入电解槽电解为氢和氯；氢和氯再次用于制备四氯化硅和多晶硅。本发明的最大优点是：使本来作为废气和废液排出的尾气和尾液得到了综合利用，因此，不仅可以减少废气和废液的排放量，而且还可以减轻对环境的污染。

主权项

1.一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法，以氯和硅石为原料，在合成炉里合成为四氯化硅；以四氯化硅和氢为原料，在还原炉里还原为多晶硅；以氢、氧和四氯化硅为原料，用氢氧火焰直烧四氯化硅，通过打砣机制备成石英玻璃；其特征在于：合成四氯化硅所用的原料氯是由电解槽电解氯化氢水溶液获得的；还原多晶硅所用的四氯化硅是由合成炉供给的，但要经过提纯系统提纯，使其纯度达到99.9999％以上方使用；还原多晶硅所用的氢是由电解槽电解氯化氢水溶液获得的，但要经过净化系统净化，使其纯度达到99.999％以上，含氧在20PPM以下，露点在-40℃以下，然后再与合格的四氯化硅混合后再通入还原炉；以还原炉的尾气为原料，经加氧燃烧，在1650-1850℃的高温下，通过打砣机制成石英玻璃；将打砣机的尾气通入淋洗塔，经过水淋洗使尾气中的四氯化硅水解，生成二氧化硅粉和氯化氢水溶液，同时将尾气中气态的二氧化硅冷却成固态的粉末；淋洗塔排出的尾液再经固液分离器将二氧化硅粉去除，剩下的氯化氢水溶液送入电解槽电解为氢和氯；之后，再将氯用于合成四氯化硅，而氢将进入净化系统，为再次在还原炉里制备多晶硅使用。