[发明专利]用于生产有机发光装置的热物理蒸汽沉积源

摘要

一种形成有机发光装置时用于在一种结构上蒸发固体有机材料的热物理蒸汽沉积源,它包括一个偏置加热器,一个设置在该偏置加热器中的电绝缘容器,以及一个设置在该容器上的蒸发加热器。所述沉积源和所述结构之间可以相对运动,以便在所述结构上形成基本上均匀的有机层。

主权项

1.一种用于蒸发固体有机材料，并且在一个负压室中将蒸发的有机材料作为一个有机层涂在一种结构的表面上，制成一种有机发光装置的热物理蒸汽沉积源，包括：a)由侧壁和底壁构成的偏置加热器，所述侧壁的高度尺寸为HB；b)一个设置在所述偏置加热器中的电绝缘容器，该容器容纳可以蒸发的固体有机材料，该容器由侧壁和底壁构成，并且，容器侧壁的高度尺寸为HC，该高度大于所述偏置加热器侧壁的高度尺寸HB；c)一个设置在所述容器的顶部侧壁表面上的蒸发加热器，该蒸发加热器形成了一个延伸到容器内部的蒸汽排出缝隙开口，使得蒸发的有机材料能够通过该缝隙开口沉积在所述结构的表面上；d)用于给所述偏置加热器施加电势的装置，导致对所述容器中的固体有机材料施加偏置热，由所述偏置热提供一种偏置温度，该温度不足以使固体有机材料蒸发；e)用于给所述蒸发加热器施加电势的装置，导致在所述容器中的固体有机材料的最上部施加蒸发热量，使得所述最上部分蒸发，以便蒸发的有机材料通过所述排出缝隙开口喷在所述结构上，在该结构上形成一个有机层；和f)用于在所述蒸发沉积源和结构之间提供相对运动的装置，以便在所述结构上形成基本上均匀的有机层。