[发明专利]喷墨式打印头喷孔的自动对准制法无效
| 申请号： | 02152284.7 | 申请日： | 2002-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1500638A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 黃怡仁;林劉恭 | 申请（专利权）人： | 飞赫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种喷墨式打印头喷孔的自动对准制法，包括下列步骤：提供一基板，所述基板包含有至少一致动组件；在所述基板表面上依序形成一第一薄膜及一第二薄膜，并定义此第二薄膜，以在上述致动组件的上方形成一凸部，且露出上述第一薄膜的部分表面；在上述露出的第一薄膜的部分表面上形成一第三薄膜，此第三薄膜并同时覆盖于该凸部的上方；去除该凸部上方的第三薄膜；最后进行蚀刻制程，将上述凸部及其下方的第一薄膜去除，以形成一孔洞。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨式 打印头 自动 对准 制法 | ||
【主权项】：
1.一种喷墨式打印头喷孔的自动对准制法，包括下列步骤：提供一基板，其包含有至少一致动组件；于所述基板表面上形成一第一薄膜；于所述第一薄膜上形成一第二薄膜；定义所述第二薄膜，以于所述致动组件的上方形成一凸部，并露出所述第一薄膜的部分表面；于上述露出的第一薄膜的部分表面上形成一第三薄膜，所述第三薄膜并同时覆盖在所述凸部的上方；去除所述凸部上方的第三薄膜；以及进行蚀刻制程，将所述凸部及所述凸部下方的所述第一薄膜去除，以形成一孔洞。
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