[发明专利]测量近场光学探针光圈尺寸的装置和方法无效
| 申请号： | 02141550.1 | 申请日： | 2002-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN1405784A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 禹起命;佩特罗夫·尼科莱;李明馥 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G12B21/06 | 分类号： | G12B21/06;G01B11/08;G01N13/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波,侯宇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种测量近场光学探针光圈孔径的装置和方法。该装置包括光源、光学探测器、和滤波器。光源向近场光学探针发射光。光学探测器放置于近场光学探针之前并且接收由近场光学探针透过的光用以探测光强。滤波器配备于光源与光学探测器之间并从透过近场光学探针的光中仅透过特定模式的波长的光。因此，在不损坏近场光学探针的情况下，能够精确实时测量近场光学探针光圈孔径。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 近场 光学 探针 光圈 尺寸 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种测量近场光学探针光圈的装置，所述装置包括：光源，用于向所述近场光学探针发射光；光学探测器，其放置于所述近场光学探针之前，所述光学探测器接收由所述近场光学探针透过的光用以探测光强；和滤波器，其配备于所述光源与所述光学探测器之间，所述滤波器从透过近场光学探针的光中仅透过特定模式的波长的光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社，未经三星电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02141550.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
