[发明专利]应用超声波装置于含有胶体活化剂的非导体金属化制程无效
申请号: | 02141385.1 | 申请日: | 2002-07-09 |
公开(公告)号: | CN1467304A | 公开(公告)日: | 2004-01-14 |
发明(设计)人: | 江德馨 | 申请(专利权)人: | 中鼎化工股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/31 | 分类号: | C23C18/31;B01J19/10;H05K3/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱黎光 |
地址: | 台湾省台北市大安区*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种应用超声波装置于含有胶体活化剂的非导体金属化制程,其特征是将至少一非导体基材于胶体活化槽以一胶体触媒活化剂通过一超声波装置以将该基材予以均匀吸附活化,有利于后续无电解电镀(化学镀)/电镀及组合流程的其中之一;该制程是利用各种型态的超声波振荡装置,由高频率的微泡生成与爆裂形成高效率质量传送,打破界面张力提高渗透、湿润及吸附效率,使该低酸高盐型胶体活化剂在非导体表面、微孔/微盲孔孔壁、非导体疏孔内壁均匀吸附活化,提高析镀膜的致密性、密着力及均一性,并有效降低生产成本,得以广泛应用于PCB制程中微孔、盲孔、微盲孔的PTH流程及其它含有金属、贵金属胶体活化剂的非导体金属化制程。 | ||
搜索关键词: | 应用 超声波 装置 含有 胶体 活化剂 非导体 金属化 | ||
【主权项】:
1、一种应用超声波装置于含有胶体活化剂的非导体金属化制程,其特征是:将至少一非导体基材于胶体活化槽以一胶体触媒活化剂通过一超声波装置以将该基材予以均匀吸附活化,有利于后续无电解电镀(化学镀)/电镀及组合流程的其中之一。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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