[发明专利]研磨垫片恢复器的结构及其应用

摘要

本发明还提供一种研磨垫片恢复器的结构及其应用，其中结构包括用来供应高压水流的一高压水输入管、连接在高压水输入管末端的超音波振荡器、与超音波振荡器连接的一储水槽，以及位于该储水槽上的一水刀射出构造。其中，超音波振荡器用来供应能量给高压水流，且水刀射出构造用来射出高压水流，由此形成一水刀以清洁研磨垫片。在使用此研磨垫片恢复器清洁一研磨垫片时，使研磨垫片恢复器与研磨垫片作一相对运动，使研磨垫片恢复器制造的水刀得以扫过研磨垫片全区。

主权项

1.一种研磨垫片恢复器的结构，适用于清洁一研磨垫片，该结构包括：一高压水输入管，其用来输入一高压水流；一超音波振荡器，其连接在该高压水输入管末端，该高压水流系流经该超音波振荡器，并由该超音波振荡器供给能量；一储水槽，其与该超音波振荡器连接，该储水槽用来储存流经该超音波振荡器的该高压水流；以及一水刀射出构造，其系位在该储水槽上，且系用来射出该高压水流而成为一水刀，该水刀系为用来清洁该研磨垫片者。