[发明专利]窄带光谱响应的量子阱红外探测器

摘要

本发明提出了一种特别适合于长波与甚长波响应的高量子效率窄带光谱响应的量子阱红外探测器，包括窄带滤光片，在窄带滤光片的一表面附着厚度为几个微米的量子阱薄层，在量子阱薄层上面还制备有一无序型光栅。其中还公开了各部分的制备过程和相关的工作模式。这类器件结构的优点是将有效地提高器件的量子效率和工作温度，抑制器件的暗电流和背景光电流，进而大大提高器件的性能。

主权项

1.一种窄带光谱响应的量子阱红外探测器，包括：窄带滤光片(1)和量子阱薄层(2)，窄带滤光片由衬底和在衬底二面交替蒸镀多层低折射率膜层和高折射率膜层组成，膜层厚度为随机涨落的层厚，由计算机产生，衬底材料为常规的红外窗口材料，如硅、锗、硫化锌、硒化锌等；其特征在于：a.在窄带滤光片(1)的一表面贴附着量子阱薄层(2)，在量子阱薄层(2)上面还制备有一无序型光栅(3)；b.窄带滤光片的中心波长必需与量子阱红外探测器所要探测的波长一至。