[发明专利]栅极结构与主动区的重叠偏移量的测量方法

摘要

本发明涉及一种栅极结构与主动区的重叠偏移量的测量方法，其中主动区具有第一、第二侧边，第一至第N栅极结构互距一既定间隔地设置该主动区上，且上述第一、第N栅极结构与上述第一、第二侧边皆预定要重叠一既定宽度，该方法包括：提供一矩形掺杂区，设置于上述第一至第N栅极结构的下方，且具有一第一、第二测试边，分别对齐于上述主动区的第一、第二侧边；施加一第一电压至第一测试边上方的第一栅极结构，并且将位于第二测试边上的第N栅极结构接地；测量第一电压在掺杂区上的分压；根据分压，判断上述第一及第N栅极结构与上述第一测试边及第二测试边是否有偏移及产生的重叠偏移量ΔW。

主权项

1.一种栅极结构与主动区的重叠偏移量的测量方法，其中一主动区具有一第一、第二侧边，一第一至第N栅极结构互距一既定间隔地设置在该主动区上，上述第一栅极结构位于上述主动区的第一侧边之上，而上述第N栅极结构位于上述主动区的第二侧边之上，并且上述第一、第N栅极结构与上述第一、第二侧边皆预定要重叠一既定宽度，该方法包括：提供一矩形掺杂区，设置于上述第一至第N栅极结构的下方，且具有一第一、第二测试边，分别对齐于上述主动区的第一、第二侧边，其中上述第一测试边以及上述主动区的第一侧边同样与上述第一栅极结构重叠上述既定宽度，并且上述第二测试边以及上述主动区的第二侧边同样与上述第N栅极结构重叠上述既定宽度；施加一第一电压至位于上述第一测试边上方的第一栅极结构，并且将位于上述第二测试边上的第N栅极结构接地；测量上述第一电压于上述掺杂区上的分压；根据上述分压，判断上述第一及第N栅极结构与上述第一测试边及第二测试边是否有偏移；若产生偏移时，根据上述分压、上述第一电压以及既定宽度，以计算出上述第一及第N栅极结构与上述主动区的第一、第二侧边的重叠偏移量ΔW。