[发明专利]表面缺陷的检测方法及其装置无效
| 申请号： | 02124788.9 | 申请日： | 1995-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1434289A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 风间彰;大重贵彦;河村努;的场有治 | 申请（专利权）人： | 日本钢管株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/21;G01B11/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范本国 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的表面缺陷检查方法是：使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类。本发明的表面缺陷检测装置包括：使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；将上述反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种表面检测装置，包括：使偏振光入射到被检查表面上的光投射装置；备有接收具有不同特定角度的至少3个方向偏振光的若干接收光的光学系统，检测被检查表面反射的反射光后变换成图像信号的光接收装置；以及从变换后的图像信号算出预定的缺陷特征量，算出的缺陷特征量同预定的图形进行比较，判定缺陷种类的信号处理装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本钢管株式会社，未经日本钢管株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02124788.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：流量控制阀与血压计
- 下一篇：从含有高水平叶绿素的金盏花提取物中纯化叶黄素
