[发明专利]在室温下制备二氧化钛薄膜的方法无效

专利信息
申请号: 02123896.0 申请日: 2002-07-08
公开(公告)号: CN1467305A 公开(公告)日: 2004-01-14
发明(设计)人: 翟锦;常琳;江雷 申请(专利权)人: 中国科学院化学研究所
主分类号: C23C28/04 分类号: C23C28/04;B01J21/06;B01J37/00
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 李柏
地址: 100080北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于功能材料技术领域,特别涉及到一种在室温下制备二氧化钛薄膜的方法。利用真空溅射的方法将金属钛蒸镀成膜,然后通过电化学氧化的方法将此金属膜氧化成二氧化钛薄膜。此薄膜具有纳米级微孔结构,能够产生光电流和光电压。当其被染料敏化形成电池后,产生了明显的光电响应。该方法可以在多种导电基质上沉积二氧化钛薄膜,并实现染料敏化的固体或液体太阳能电池。
搜索关键词: 室温 制备 氧化 薄膜 方法
【主权项】:
1.一种在室温下制备二氧化钛薄膜的方法,其特征是:所述的方法步骤如下:(1).将导电基片清洗干净,吹干;(2).将步骤(1)清洗干净的导电基片置于溅射仪中,控制镀膜时间在100秒-2000秒的范围内,将金属钛镀在导电基片上形成金属薄膜;(3).选择酸或碱的水溶液为电解质溶液,对步骤(2)镀有一层金属钛薄膜的导电基片进行电解氧化;(4).电解结束后取出薄膜,清洗干净,得到具有纳米级微孔结构的二氧化钛薄膜,其微孔在5-200nm之间。
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