[发明专利]识别装置、接合装置及电路装置的制造方法

摘要

一种识别装置，接合装置及电路装置的制造方法，导线接合工序时，为防止基板氧化而采用的不活泼气体因接合时的温差会产生闪晃，使图形识别精度恶化。在具有本发明识别装置的接合装置21中，在环状照明25和操作孔24之间，将闪晃防止送风机构31设置在操作孔24附近。由此，从操作孔24喷出的氮气虽然会因温差形成闪晃，但是能从闪晃防止送风机构31利用氮气的气流将其吹走。其结果是，可以提高识别照相机的识别精度，而且可以提高μm级的导线接合精度。

主权项

1.一种识别装置，其特征在于，包括：具有加热功能的基板载置台；在所述基板载置台上，覆盖操作区域的罩；所述罩上面设置的操作孔；所述操作孔上方设置的照明；在配置于所述照明上方的镜筒内设置的图形识别用照相机；利用所述照明下部设置的送风气流，使吹入所述罩内的不活泼气体利用所述基板载置台的加热产生的上升气流的波动相对于所述罩表面向横向排放。