[发明专利]霍尔型离子辅助蒸发源无效
| 申请号： | 02116688.9 | 申请日： | 2002-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN1160477C | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 杨会生;王燕斌;熊小涛 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京科大华谊专利代理事务所 | 代理人： | 刘月娥 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种霍尔型离子辅助蒸发源，由阴极灯丝(31)、阳极(32)、供气系统、磁路等部件组成，其特征在于：蒸发源通过法兰背板(36)安装在未详细说明的真空室壁上。在蒸发源的上部安装有可发射热电子的阴极灯丝(31)，灯丝通过陶瓷绝缘垫(37)与离子源其他部件绝缘；在放电室(38)下部安装了阳极(32)，在阳极上构造出装载膜料的坩埚(39)，坩埚底部有水冷室(40)，阳极通过螺栓(41)与下部的布气板(42)连接；在布气板上构造出环型布气槽(43)。本发明的优点在于：可以用来镀前清洗，在用金属膜料镀制非金属膜时，可以将反应气体直接馈入蒸发源内并使其离化，从而进行反应镀膜，增加反应程度。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔 离子 辅助 蒸发 | ||
【主权项】：
1、一种霍尔型离子辅助蒸发源，由阴极灯丝(31)、阳极(32)、供气系统、磁路部件组成，其特征在于：蒸发源通过法兰背板(36)安装在真空室壁上；在蒸发源的上部安装阴极灯丝(31)，灯丝用钨、钽材料制造，灯丝通过陶瓷绝缘垫(37)与离子源绝缘；在放电室(38)下部安装了阳极(32)，在阳极上构造出装载膜料的坩埚(39)，坩埚底部有水冷室(40)，阳极通过螺栓(41)与下部的布气板(42)连接；在布气板上构造出环型布气槽(43)，在布气槽顶部有沿圆周均匀分布的供气孔(44)；工作气体和反应气体由供气管(33)进入环型槽内；在布气板上构造出冷却水的进水口(34)和出水口(35)；顶部磁极上部构造出了水冷槽(51)。
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