[发明专利]室温光学读出红外焦平面探测器

摘要

本发明提供了一种采用光学读出的室温红外焦平面探测器,该器件包括带恒温加热器的芯片、窄带滤光片、半导体激光器和SiCCD面阵器件。其特征是当一束波长在可见或近红外区域的半导体激光与被探测红外光同时入射到芯片中时、利用芯片中的VO2薄膜层的光学透过率在金属－半导体相变前后发生锐变的性质,将红外光信号转换成可见或近红外激光信号,从而直接采用光学读出的SiCCD进行信号读出。本发明的最大优点是可以很方便地将红外图象转变成可见光图象,从而把相对不成熟的红外光电探测技术转化成十分成熟的可见光波段的光电探测技术,并直接与SiCCD这一发展得十分成熟的技术相结合,大大地简化了器件的制备工艺。

主权项

1.一种室温光学读出红外焦平面探测器，包括：芯片、窄带滤光片、恒温加热器、半导体激光器和SiCCD面阵器件，其特征在于：A.芯片依次由衬底(1)、高密度空洞的SiO2隔热层(2)、VO2薄膜层(3)和SiN吸热层(4)组成；B.芯片置在使其温度恒定在VO2薄膜的相变点附近的恒温加热器(7)中；C.带有恒温加热器的芯片和SiCCD面阵器件(5)之间置有窄带滤光片(6)；D.半导体激光器(8)位于芯片衬底(1)一侧，并保持半导体激光器出射的激光束以面光源的特征入射到衬底(1)上。