[发明专利]被研磨物保持部件及其制造方法无效
| 申请号： | 02106513.6 | 申请日： | 2002-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1373025A | 公开（公告）日： | 2002-10-09 |
| 发明（设计）人： | 高桥克治;平冈宏一;野田雅之 | 申请（专利权）人： | 新神户电机株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用热固性树脂含浸纤维板形成被研磨物保持部件,所述热固性树脂含浸纤维板是将含浸热固性树脂的一块片状纤维基材或将多块片状纤维基材重合而成的层压片热压成形为板状且具有表面层的物质。作为热固性树脂含浸纤维板,使用其表面层在其大致整个范围具有下述表面粗度的物质,从由表面粗度测定器测定获得的剖面曲线中挑选起伏曲线,在沿其平均线方向仅抽取规定长度的评价部分中,计算距离所述平均线的最大波峰的高度尺寸Rp与最大波谷的深度尺寸Rv之和得到的最大高度Ry为10μm以上。从而提供一种难以粘附在研磨装置的研磨垫上的被研磨物保持部件,降低因生产线故障引起的被研磨物的不良发生。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 保持 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种被研磨物保持部件，由将含浸热固性树脂的一块片状纤维基材或将多块所述片状纤维基材重合而成的层压片热压成形为板状并且具有表面层的热固性树脂含浸纤维板构成，其特征在于，所述表面层在大致整个范围具有下述表面粗度，从用表面粗度测定器测定获得的剖面曲线中挑选起伏曲线，在沿其平均线方向仅抽取规定长度的评价部分中，将距离所述平均线的最大波峰的高度尺寸Rp与最大波谷的深度尺寸Rv求和得到的最大高度Ry为10μm以上。
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