[发明专利]微机调控激光干涉仪

摘要

本发明属光机电和计算机一体化的仪器，可用于云纹干涉法、电子散斑法和电子几何云纹法正常光照下亚动态测试，体积小成本低。设置激光器1，扩束镜2，准直镜3，分光镜/反光镜4，正交光栅5，反射镜组6、7，驱动线路板8，步进和变速系统9，摄像机10以及微机11、反射镜13等。除11和13外，组装在一个封闭的多层框架12内。14为测试对象。由11驱动8、9使扩束镜2移动，实现扩束光和准直光的变换；驱动4实现光栅分光和分光镜分光的变换；驱动6、7实现测试灵敏度的小步距大范围调节，初始或载波云纹的调节；有微机处理、判断功能，用于结构强度、热应力、残余应力、焊接质量、电子封装延寿研究，层间缺陷检测，工程、生物和复合材料力学性能测试研究。

主权项

1.微机调控激光干涉仪，设置激光器(1)，扩束镜(2)，准直镜(3)，分光镜/反光镜(4)，正交光栅(5)，反射镜组(6)、(7)，驱动线路板(8)，步进和变速系统(9)，摄像机(10)以及微机(11)等，其特点是由微机发出指令，经(8)、(9)可使(2)前后移动，实现准直光或扩束光变换；使(6)、(7)转动，实现正交虚光栅频率或测试灵敏度的小步距、大范围及初始云纹和载波云纹的调节；通过(4)实现分光镜或正交光栅分光的变换，即测离面位移或两向面内位移的变换。