[发明专利]投影光学系统以及具备此投影光学系统的曝光装置无效
| 申请号： | 02103545.8 | 申请日： | 2002-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN1374560A | 公开（公告）日： | 2002-10-16 |
| 发明（设计）人： | 铃木刚司 | 申请（专利权）人： | 尼康股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种投影光学系统,含有以萤石形成的透镜成份与以石英形成的透镜成份,将第1面的影像投影至第2面上的投影光学系统,此投影光学系统包括至少含有一个以萤石形成的透镜成份,具有正折射力的第1透镜群、配置于第1透镜群以及第2面之间的光路中,具有负折射力的第2透镜群、配置于第2透镜群以及第2面之间的光路中,具有正折射力的第3透镜群。以石英形成透镜成份的枚数为Snum,以萤石形成透镜成份的枚数为Cnum,投影光学系统的第2面侧的数值孔径为NA时,满足下列条件。Snum>CnumNA>0.7 | ||
| 搜索关键词： | 投影 光学系统 以及 具备 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种投影光学系统，含有一以萤石形成的透镜成份与一以石英形成的透镜成份，将一第1面的影像投影至一第2面上，其特征为：该投影光学系统包括：一第1透镜群，至少含有一个该以萤石形成的透镜成份，且该第1透镜群具有正折射力；一第2透镜群，配置于该第1透镜群以及该第2面之间的光路中，且该第2透镜群具有负折射力；以及一第3透镜群，配置于该第2透镜群以及该第2面之间的光路中，且该第3透镜群具有正折射力：其中该以石英形成的透镜成份的枚数为Snum，该以萤石形成的透镜成份的枚数为Cnum，该投影光学系统的该第2面侧的数值孔径为NA时，满足下列条件。Snum＞CnumNA＞0.7
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