[发明专利]带导电轴的压电柱的超声微电机及其电极的极化、激励方法

摘要

带导电轴的压电柱的超声微电机及其电极的极化、激励方法属于弯曲振动模态超声微电机技术领域，其特征在于：定子含有用于激励振动的内接着导电轴的压电柱和匹配块，该压电柱外壁涂有四个均匀分布的供极化和激励振动用的外电极。极化时以导电轴为一极，四个电极并联后为另一极进行径向极化；也可以导电轴为一极，相邻的两对电极各作为一极，分别沿径向做正向和反向极化。激励时，四份电极焊上焊片和导线后，同时分别加Sin、Cos、－Sin、－Cos四路交流信号；也可在相对角的两对电极上分别加Sin、Cos交流信号。电机便会作弯曲摇头振动。本电机可加工的尺寸为0.3mm～3mm之间，促进了超声电机的微型化。在输入电信号的峰值为2V～6V时，转子可在定子表面明显转动。它在生物、医疗、微机械、军工业有广泛应用前景。

主权项

1、带导电轴的压电柱的超声微电机，含有由匹配块和压电陶瓷元件构成的定子，转子及预压力机构，其特征在于：它是一种弯曲振动模态的超声微电机，所述的压电陶瓷元件为具有同轴地内接着导电轴且其外壁涂有四个均匀分布的供极化和激励振动用的外电极的压电柱。