[发明专利]耐热性树脂的预聚体,耐热性树脂,绝缘膜和半导体装置无效
申请号: | 01816115.4 | 申请日: | 2001-09-20 |
公开(公告)号: | CN1462289A | 公开(公告)日: | 2003-12-17 |
发明(设计)人: | 冈沼雅子;吉田达弘;斋藤英纪;东田进弘;藤本雅则;石川忠啓 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
主分类号: | C08G73/22 | 分类号: | C08G73/22;H01B3/30;H01L21/768;H01L21/312 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 潘培坤;楼仙英 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种特殊结构的聚苯并噁唑树脂预聚体,在其分子中包含可交联基团;由该预聚体通过缩合反应和交联反应制得的聚苯并噁唑树脂;包含所述聚苯并噁唑树脂的绝缘膜;和包含所述绝缘膜、具有层间绝缘膜和/或表面防护膜的半导体装置。该预聚体可溶解于有机溶剂,因此保持良好的可成形性,同时,在环合后可生成一种耐热性得到改善且具有优异的电学、机械和物理性能的耐热性树脂,因此适合用于半导体装置的绝缘层间膜或类似物。 | ||
搜索关键词: | 耐热性 树脂 预聚体 绝缘 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种聚苯并噁唑树脂的预聚体,其分子中包含可交联基团。
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