[发明专利]耐热性树脂的预聚体,耐热性树脂,绝缘膜和半导体装置无效

专利信息
申请号: 01816115.4 申请日: 2001-09-20
公开(公告)号: CN1462289A 公开(公告)日: 2003-12-17
发明(设计)人: 冈沼雅子;吉田达弘;斋藤英纪;东田进弘;藤本雅则;石川忠啓 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: C08G73/22 分类号: C08G73/22;H01B3/30;H01L21/768;H01L21/312
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 潘培坤;楼仙英
地址: 暂无信息 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种特殊结构的聚苯并噁唑树脂预聚体,在其分子中包含可交联基团;由该预聚体通过缩合反应和交联反应制得的聚苯并噁唑树脂;包含所述聚苯并噁唑树脂的绝缘膜;和包含所述绝缘膜、具有层间绝缘膜和/或表面防护膜的半导体装置。该预聚体可溶解于有机溶剂,因此保持良好的可成形性,同时,在环合后可生成一种耐热性得到改善且具有优异的电学、机械和物理性能的耐热性树脂,因此适合用于半导体装置的绝缘层间膜或类似物。
搜索关键词: 耐热性 树脂 预聚体 绝缘 半导体 装置
【主权项】:
1.一种聚苯并噁唑树脂的预聚体,其分子中包含可交联基团。
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