[发明专利]可用于高度洁净及高腐蚀性环境的感测器

摘要

一种在超过400℃温度下可操作的感测器。本发明的感测器的操作无须液体充填，该感测器是无孔隙、无污染，且无外在暴露金属元件。该感测器包括一无孔隙不渗透的感测隔膜，其可置于高度洁净环境直接与流体接触。无孔隙表面被包括作为玻璃装配于支撑板的单晶蓝宝石层。本发明的感测器可适用于呈化学惰性的压力传感器，以感测在过程流体中的压力及/或温度，且可直接模制成形为压力传感器模块的高温塑胶壳体。

主权项

1.一种具有无孔隙的外部表面的感测器，该感测器包括：支撑板，其具有内部与外部表面；无孔隙的隔膜，其具有内部与外部表面；邻接于该隔膜的内部表面的感测元件；玻璃层，该层是通过将玻璃装配到该支撑板的内部表面和该无孔隙隔膜的内部表面的靠近其外缘处而粘合的，由此粘合支撑板与无孔隙隔膜，其中于接近所述无孔隙隔膜处的压力和温度中的至少之一可借助该感测元件检测。