[发明专利]圆筒状靶及其制造方法无效
| 申请号： | 01815158.2 | 申请日： | 2001-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1452668A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 植田宏;神山敏久;神田幸一 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 陈剑华 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 得到一种增大靶材料和支持此靶材料的衬底管的选材可能性、并且制造简单和可再利用的圆筒状靶。将碳毡等缓冲部件52位于内筒为金属制衬底管和外筒为圆筒状靶材料之间，将两者接合形成圆筒状靶。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒状 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种圆筒状靶，其特征在于，在圆筒状衬底管的外围，配置有中空圆筒状的靶材料，并且上述衬底管和上述靶材料通过夹在上述两者之间的缓冲部件接合在一起。
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