[发明专利]制备超薄聚合膜的方法无效

专利信息
申请号: 01805786.1 申请日: 2001-02-06
公开(公告)号: CN1406173A 公开(公告)日: 2003-03-26
发明(设计)人: P·-E·诺达尔;N·约翰松 申请(专利权)人: 薄膜电子有限公司
主分类号: B29C41/08 分类号: B29C41/08
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 卢新华,邰红
地址: 挪威*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种制备含碳材料的超薄膜,尤其是聚合物材料薄膜的方法。厚度为0.5μm或更小的膜是通过材料从液相沉积到固体表面而形成的。沉积在密闭空间进行,材料同样在其中经沉积后处理。密闭空间的湿含量应保持相当于在与密闭体积相等的空气体积中为小于50%的相对湿度,它通过排出和/或除去密闭空间的材料和/或气氛的水和水蒸汽来实现。
搜索关键词: 制备 超薄 聚合 方法
【主权项】:
1.一种制备含碳材料的超薄膜,尤其是聚合物材料的薄膜的方法,其中膜的厚度为0.5μm或以下,其中膜是通过材料从液相沉积到固体表面上形成的,其中液相是材料的熔融状态或溶解在溶剂中形成的,其中沉积是在密封空间进行,该密封空间尤其是清洁室或制造装置中的密封室,其中材料能经适当的沉积后处理可显示铁电和/或永久磁化的电介质性质,而且该方法的特征在于,保持该密闭空间中的总湿含量相当于在与密闭体积相等的空气体积中为小于50%的相对湿度,而且空气的压力为1大气压,它通过从下列至少一种中排除和/或除去水和水蒸汽来达到的。
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