[发明专利]用于带电粒子束装置的圆柱腔体无效
| 申请号： | 01805431.5 | 申请日： | 2001-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1404618A | 公开（公告）日： | 2003-03-19 |
| 发明（设计）人： | 帕维尔·亚达梅克 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/153 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种改进的用于带电粒子束装置的圆柱腔体。这个腔体包括偏向器，该偏向器用于在样本表面扫描粒子束、相对于物镜调准粒子束、补偿由物镜所引起的像差。因此，用于偏向器并且可独立控制的电极配置和/或线圈配置的数目是8个或更少。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 装置 圆柱 | ||
【主权项】：
1、一种用于带电粒子束装置的腔体，带电粒子束装置用于检测或改性样本，所述腔体包括：a)提供带电粒子束的粒子源，b)将射束聚焦到样本上的物镜，以及c)偏向器，其用于在样本表面上扫描射束、相对于物镜调准射束并且补偿由于物镜所造成的象差，其中用于偏向器且可以独立控制的电极配置和/或线圈配置的总数为8或更少。
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