[发明专利]在低能模式中操作高能加速器的方法及装置

摘要

这项发明提供一种有效地在高能模式和低能模式中操作包括带电粒子加速器的离子注入设备的方法和装置。带电粒子加速器包括高压电源、与高压电源耦合的加速器柱状物和开关组件。加速器柱状物包括众多加速器电极。高压电源在低能模式中被禁止激励加速器柱状物释放能量。开关组件包括在低能模式中把加速器电极电连接到参考电位上并且在高能模式中使加速器电极与参考电位电隔离的开关元件。在低能模式中，开关组件在输送阳离子束时防止加速器电极上是正电位，并因此使离子束的空间电荷扩充减少到最小。

主权项

1.一种能在高能模式和低能模式中操作的带电粒子加速器，该加速器包括：用来产生高电压的高压电源；与所述的高压电源耦合的加速器柱状物，所述的加速器柱状物包括众多有用于输送带电离子束的孔和接在所述的加速器电极之中的相邻电极之间用来在所述的加速器电极之间分配所述的高电压的电阻的加速器电极，其中所述的高压电源在低能模式中被禁止激励所述的加速器柱状物；以及包括一个或多个在低能模式中把所述的加速器电极电连接到参考电位上并且在高能模式中使所述的加速器电极与参考电位电隔离的开关元件的开关组件。