[发明专利]在低能模式中操作高能加速器的方法及装置无效
申请号: | 01804801.3 | 申请日: | 2001-02-08 |
公开(公告)号: | CN1398505A | 公开(公告)日: | 2003-02-19 |
发明(设计)人: | 布乔恩·O·派德森;彼得·E·马西乔斯基;威廉·G·古德诺思;保罗·J·墨菲;查尔斯·M·麦肯纳 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备联合公司 |
主分类号: | H05H5/06 | 分类号: | H05H5/06;H01J37/317 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 过晓东 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低能 模式 操作 高能 加速器 方法 装置 | ||
1.一种能在高能模式和低能模式中操作的带电粒子加速器,该加速器包括:
用来产生高电压的高压电源;
与所述的高压电源耦合的加速器柱状物,所述的加速器柱状物包括众多有用于输送带电离子束的孔和接在所述的加速器电极之中的相邻电极之间用来在所述的加速器电极之间分配所述的高电压的电阻的加速器电极,其中所述的高压电源在低能模式中被禁止激励所述的加速器柱状物;以及
包括一个或多个在低能模式中把所述的加速器电极电连接到参考电位上并且在高能模式中使所述的加速器电极与参考电位电隔离的开关元件的开关组件。
2.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中每个所述的开关元件都包括有固定在所述的加速器电极之一上的第一部分和能在与所述的那个加速器电极电接触的高能位置和与相邻的加速器电极电接触的低能位置之间移动的第二部分的柔性导体。
3.根据权利要求2的带电粒子加速器,其中所述的开关组件进一步包括用来在高能位置和低能位置之间移动所述的柔性导体的执行机构和接在所述的执行机构和每个所述的柔性导体之间的传动杆。
4.根据权利要求2的带电粒子加速器,其中所述的柔性导体包括导电片。
5.根据权利要求2的带电粒子加速器,其中所述的柔性导体包括形成加长线圈的导线。
6.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中所述的开关元件被分别直接接到所述的加速器电极上。
7.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中所述的开关组件包括一摞被分别接在所述的加速器电极上彼此电隔离的导电板,而且其中每个所述的开关元件包括其第一部分固定在所述的导电板上而其第二部分能在与所述的那一块导电板电接触的高能位置和与毗邻的导电板电接触的低能位置之间移动的柔性导体。
8.根据权利要求7的带电粒子加速器,其中所述的开关组件进一步包括用来在高能位置和低能位置移动所述的柔性导体的执行机构和接在所述的执行机构和所述的柔性导体之间的传动杆。
9.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中所述的开关元件包括分别与所述的加速器电极耦合的二极管,而且其中所述的二极管在高能模式中是被反向偏置的而在低能模式中是正向偏置的,以便提供一条连接参考电位的传导路径。
10.根据权利要求9的带电粒子加速器,进一步包括用来在低能模式中给所述的二极管加正偏压的二极管电源。
11.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中所述的参考电位是接地。
12.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中所述的参考电位是负电压。
13.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中所述的开关元件把所述的加速器电极串联到参考电位上。
14.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中所述的开关组件包括在低能模式中用来把所述的一个或多个开关元件移动到与所述的加速器电极电接触的装置。
15.根据权利要求1的带电粒子加速器,其中所述的一个或多个开关元件包括能在与所述的加速器电极电接触的低能位置和与所述的加速器电极隔开的高能位置之间横向移动的导电的切换棒。
16.在包括用来产生高电压的高压电源和与所述的高压电源耦合的加速器柱状物的带电粒子加速器中,所述的加速器柱状物包括众多有用于输送带电粒子束的孔的加速器电极和接在所述的加速器电极之中的毗邻电极之间用来在所述的加速器电极当中分配所述的高电压的电阻,在低能模式中用来操作所述的带电粒子加速器的方法包括下述步骤:禁止所述的高压电源在低能模式中激励所述的加速器柱状物;以及
在低能模式中把所述的加速器电极电连接到参考电位上。
17.根据权利要求16的方法,其中把所述的加速器电极电连接到参考电位上的步骤包括把所述的加速器电极与接在所述的加速器电极的毗邻电极之间的活动的开关元件串联。
18.根据权利要求16的方法,其中把所述的加速器电极电连接到参考电位上的步骤包括给与每个所述的加速器电极耦合的二极管加正偏压,以便提供连接参考电位的传导路径。
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