[发明专利]常压等离子体系统无效
| 申请号： | 01804735.1 | 申请日： | 2001-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1404619A | 公开（公告）日： | 2003-03-19 |
| 发明（设计）人： | 安舍尼·赫伯特;费尔咖尔·奥雷利;朱尔斯·布拉德尔;彼得·多宾 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁爱尔兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 爱尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明披露了一种共用确定等离子区(5)、安装在容腔(2)内的电极(4)的常压等离子体系统(1)。该容腔具有到大气入口组件(10)和出口组件(11)的开口，用于通过等离子区(5)连续传输工件。所说明的实施例针对其相对密度低于大气相对密度的先行处理气体，使得处理气体在容腔(2)内上升将较重的大气和废气排出。对于其相对密度比大气高的气体，入口组件和出口组件(10和11)位于等离子区(5)的上方。 | ||
| 搜索关键词： | 常压 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
1.一种非热平衡型常压等离子体(APP)系统(1)，该系统包括：多个电极(3)，形成一个等离子区，安装在容腔(2)内，在同样压强和温度下其相对密度比大气密度高或低的非大气先行处理气体，其特征在于，该系统包括：气密容腔(2)，具有到大气入口组件(10)和大气出口组件(11)的开口，入口组件和出口组件分别具有工件开口(12、13)以及工件封装口(14、15)，其中对于先行处理气体的相对密度大于大气相对密度的情况，所述入口组件和出口组件位于等离子区(5)的上方，而对于先行处理气体的相对密度低于大气相对密度的情况，所述入口组件和出口组件位于等离子区(5)的下方；以及装置(20)，用于在电极(3)之间从入口组件(10)到出口组件(11)移动工件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陶氏康宁爱尔兰有限公司，未经陶氏康宁爱尔兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01804735.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：生产环状化合物的方法
- 下一篇：带有空调装置的开关柜或外壳
