[发明专利]提供连续运动顺序横向固化的方法和系统

摘要

一种对非晶硅薄膜样品进行加工以制造大晶粒并且晶粒边界受控的硅薄膜方法和系统。薄膜样品包括第一边缘和第二边缘。具体说来,采用该方法和系统,使用准分子激光器来提供脉冲激光束,并且屏蔽脉冲激光束以产生图案子光束,每一图案子光束具有足以使薄膜样品融化的强度。用图案子光束以第一恒定预定速度沿第一边缘和第二边缘之间的第一路径对薄膜样品进行连续扫描。此外,用图案子光束以第二恒定预定速度沿第一边缘和第二边缘之间的第二路径对薄膜样品进行连续扫描。

主权项

1.一种加工硅薄膜样品以制造晶化硅薄膜的方法，所述薄膜样品具有第一边缘和第二边缘，其特征在于，所述方法包括下列步骤：(a)控制激光束发生器以发射激光束；(b)屏蔽部分激光束以产生图案形式的子光束，每一图案形式的子光束照射到薄膜样品上，并具有足以融化薄膜样品的光强；(c)以第一恒定预定速度连续扫描薄膜样品，以致图案子光束的照射点在沿第一边缘和第二边缘之间的薄膜样品上的第一路径随图案子光束而移动；以及(d)以第二恒定预定速度连续扫描薄膜样品，以致图案子光束的照射点沿在第一边缘和第二边缘之间的薄膜样品上的第二路径上随图案子光束而移动。