[发明专利]用紫外线分光计测定等离子体聚合的聚合物层的装置无效
| 申请号： | 01800178.5 | 申请日： | 2001-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN1363111A | 公开（公告）日： | 2002-08-07 |
| 发明（设计）人： | 姜成熙;李铉旭 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 顾红霞,朱登河 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用紫外线分光计测定等离子体聚合的聚合物层的装置,包括聚合室,用于通过发射等离子体在基底表面上形成聚合的聚合物层;紫外线探测器,不接触地安装在聚合室中形成的聚合的聚合物层,用于向聚合物层传播和从聚合物层接收紫外线;和紫外线分光计,用于分析紫外线探测器输入的信号。用此装置,具有由等离子体连续聚合的聚合物层的基底的表面的特性能够不接触地测定,并且能够在不影响室内的真空度等处理参数的情况下进行。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外线 分光计 测定 等离子体 聚合 聚合物 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用紫外线分光计测定等离子体聚合的聚合物层的性能的装置，其特征在于，它包括：聚合室，用于通过发射等离子体在基底表面上形成聚合的聚合物层；紫外线探测器，不接触地安装在聚合室中形成的聚合的聚合物层上，用于向聚合物层传播/从聚合物层接收紫外线；和紫外线分光计，用于分析紫外线探测器输入的信号。
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