[实用新型]纳米压力传感器无效
申请号: | 01235210.1 | 申请日: | 2001-05-31 |
公开(公告)号: | CN2483705Y | 公开(公告)日: | 2002-03-27 |
发明(设计)人: | 安志超;杨彪;雷卫武 | 申请(专利权)人: | 湖南长沙索普测控技术有限公司 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 410111 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 一种纳米压力传感器,它由引压嘴、圆杯形纳米应变敏感元件、内引线装置、电路元件板、外引线装置、外罩组成,其特征是引压嘴与圆杯形纳米应变敏感元件构成压力腔。起隔离、应变、钝化作用的纳米材料涂覆在敏感元件弹性体的外端面,通过光刻、微细加工等现代技术形成电桥的四个应变电阻,当介质的压力进入压力腔后,电桥的四个纳米应变电阻发生变化,电桥失出平衡,输出与压力成正比的电信号。本实用新型具有高精度、高可靠性、高稳定性、宽温度适用范围、耐恶劣环境等优良性能。 | ||
搜索关键词: | 纳米 压力传感器 | ||
【主权项】:
1、一种纳米压力传感器,它由引压嘴(1)、圆杯形纳米应变敏感元件(2)、内引线装置(3)、电路元件板(4)、外引线装置(5)、外罩(6)组成,其特征是:所述引压嘴(1)与圆杯形纳米应变敏感元件(2)焊成一体,购成压力腔;
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