[发明专利]气相沉积镀膜与真空热处理在线结合的复合镀膜设备无效
| 申请号： | 01138914.1 | 申请日： | 2001-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN1161492C | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 赵越;刘实;王隆保 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及镀膜技术，具体地说是气相沉积镀膜与真空热处理在线结合的复合镀膜设备。包括镀膜室、热处理室以及手套箱、中转室，中转室为不锈钢圆柱型结构，设置在镀膜室、热处理室以及手套箱之间，与镀膜室、热处理室以及手套箱通过不锈钢管道连接，在不锈钢管道上设有不锈钢高真空插板阀；其中：中转室具有上盖，其上设观察窗；中转室侧壁安装一传递杆，方向对准镀膜室；侧壁还安装一机械手；热处理室上安装一观察窗，其侧壁分别安装一机械手及一方向对准中转室的传递杆；手套箱内侧、靠中转室接口处设置压板舱门，通过不锈钢管道与中转室相通；镀膜室侧壁安装一机械手。它能解决中间传递环节污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 镀膜 真空 热处理 在线 结合 复合 设备 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积镀膜与真空热处理在线结合的复合镀膜设备，包括镀膜室(1)、热处理室(2)以及手套箱(3)，其特征在于：还包括中转室(4)，所述中转室(4)为不锈钢圆柱型结构，设置在所述镀膜室(1)、热处理室(2)以及手套箱(3)之间，与镀膜室(1)、热处理室(2)以及手套箱(3)通过不锈钢管道连接，在不锈钢管道上设有不锈钢高真空插板阀(6)；其中：所述中转室(4)具有上盖，其上设观察窗(5)；中转室(4)侧壁安装一传递杆(7)，方向对准镀膜室(1)；侧壁还安装一机械手(8)；所述热处理室(2)上安装一观察窗(5)，其侧壁分别安装一机械手(8)，及一方向对准中转室(4)的传递杆(7)；所述手套箱(3)内侧、靠中转室(4)接口处设置压板舱门(10)，通过不锈钢管道与中转室(4)相通；所述镀膜室(1)侧壁安装一机械手(8)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院金属研究所，未经中国科学院金属研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01138914.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
