[发明专利]以激光加工法制作低杂波表声波滤波器基板的方法无效
| 申请号： | 01134832.1 | 申请日： | 2001-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1420628A | 公开（公告）日： | 2003-05-28 |
| 发明（设计）人： | 张有全;何世贤;曾永富 | 申请（专利权）人： | 晶向科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈红,潘培坤 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种于一晶圆上制作一表声波滤波器(SAWFilter)基板的方法，该晶圆具有一正面以及一背面，本发明方法包含有于该晶圆上进行一研磨处理；于该晶圆的背面进行一激光粗化处理；于该晶圆的正面进行一抛光处理；以及于该晶圆上进行一清洗处理。其中，该激光粗化处理是利用一激光光束于该晶圆的背面形成多个沟槽，该多个沟槽是排列成一网格交错状的图样。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 法制 作低杂波表 声波 滤波器 方法 | ||
【主权项】：
1、一种于一晶圆上制作一表声波滤波器基板的方法，该晶圆具有一背面，其特征在于该方法包含有于该晶圆的背面进行一激光粗化处理。
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