[发明专利]一种微电子器件加工设备中直线运动的控制装置

摘要

本发明涉及微电子器件生产专用设备并对其控制装置的改进。采用接口电路使来自外界的各种干扰信号同可编程控制器之间得以有效的隔离。X轴采用限位开关，使X轴不会超出行程，因此有效地保护了设备。X轴采用到位开关来矫正零点，因此无累积误差，定位精度提高。采用显示电路可直观了解控制装置的工作情况，容易判断故障所在的部位，维修方便、实用性更强。采用启动按钮和电源控制接触器及保护接触器，当机械发生故障时使电机超载等原因造成的故障及时切断，则不会使控制器和驱动器损坏，不会因故障扩大给设备造成损失，使电源供给更加可靠，操作方便，功能更加完善。在控制装置中加入了干扰抑制器，各种干扰得以有效抑制，设备工作更加可靠。

主权项

1、一种微电子器件加工设备中直线运动的控制装置，控制部分主要包括装片吸盘(2)、光纤检测传感器(3)、X轴步进电机(4)、收料箱(6)、供、收料到位检测开关(7)、夹紧气缸(8)、卸片吸盘(9)、料检测开关(10)、供料箱(12)、转盘(13)、检平台(14)、直线电机(15)、磁感应传感器(18)、转盘到位检测开关(19)、供料电机(26)、转盘电机(27)、收料电机(31)、供料、收料盒上到位检测开关(32)、可编程控制器(44)、供料、收料盒下到位检测开关(45)、X轴步进电机驱动器(49)、控制面板(50)、操作键盘(51)、气压传感器(52)、气动电磁阀(53)、交流伺服电机(54)、交流伺服电机驱动器(55)、直线电机驱动器(56)、探卡(58)，其特征在于还包括：可编程控制器(44)的数据总线、地址总线和控制线分别接到输入模板(42)和输出模板(43)、供料电机驱动器(46)、收料电机驱动器(47)、转盘电机驱动器(48)、X轴步进电机驱动器(49)、交流伺服电机驱动器(55)、直线电机驱动器(56)的输入端上，X轴限位开关(1)、各轴到位第一检测接口电路(38)、各轴到位第二检测接口电路(39)、第一接口电路(40)、第二接口电路(41)、料检测开关(10)、磁感应传感器(18)、光纤检测传感器(3)、气压传感器(52)和键盘(51)的输出端分别与输入接口电路(37)中光电隔离器件(60)的输入端联接，光电隔离器件(60)的输出端分别与输入模板(42)、显示电路(36)的输入端联接，供、收料到位检测开关(7)、霍尔传感器(11)、到位开关(5)、上到位检测开关(32)、下到位检测开关(45)的输出端分别与各轴到位第一检测接口电路(38)、各轴到位第二检测接口电路(39)、第一接口电路(40)、第二接口电路(41)的输入端联接，输出模板(43)的输出端分别与气缸(8)、卸片吸盘(9)、报警接口电路(57)中的功率继电器(61)的输入端口联接，报警接口电路(57)中的功率继电器(61)的输出端分别与报警声光显示器件(62)联接，直线电机(15)的控制线与直线电机驱动器(56)的控制输出端联接，供料电机(26)的控制线与供料电机驱动器(46)的控制输出端联接，收料电机(31)的控制线与收料电机驱动器(47)的控制输出端联接，转盘电机(27)的控制线与转盘电机驱动器(48)的控制输出端联接，步进电机(4)的控制线与X轴步进电机驱动器(49)的控制端联接，交流伺服电机(54)的控制线与交流伺服电机驱动器(55)的控制输出端联接，动力电通过总电源保护器(33)的输出端联接到电源控制接触器(35)的输入端，按钮(17)的常开点与电源控制接触器(35)的线圈联接，电源控制接触器(35)的输出端与控制电路保护交流接触器(34)的输入端联接，控制电路保护交流接触器(34)的输出端分别与供料电机驱动器保护器(20)、收料电机驱动器保护器(21)、转盘电机驱动器保护器(22)、直线电机驱动器保护器(23)、可编程控制器的保护器(24)、接口电路及输入器件和输出器件的保护器(25)、交流伺服电机驱动器的保护器(59)的输入端联接，急停开关(16)的常开点与控制电路保护交流接触器(34)的线圈联接，控制电路保护交流接触器(34)的输出端分别与直线电机驱动器的干扰抑制器(28)、交流伺服电机驱动器的干扰抑制器(29)、可编程控制器的干扰抑制器(30)的输入端联接，直线电机驱动器的干扰抑制器(28)的输出端与直线电机驱动器保护器(23)的电源输入端联接，交流伺服电机驱动器的干扰抑制器(29)的输出端与交流伺服电机驱动器(55)的电源输入端联接，可编程控制器的干扰抑制器(30)的输出端和可编程控制器(44)的电源输入端联接。