[发明专利]激光束产生装置无效

专利信息
申请号: 01124582.4 申请日: 2001-08-09
公开(公告)号: CN1337766A 公开(公告)日: 2002-02-27
发明(设计)人: 金田有史 申请(专利权)人: 索尼株式会社
主分类号: H01S3/108 分类号: H01S3/108;H01S3/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 罗亚川
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 深紫外激光束是一种谐波,它产生于非线性光学部件(101)里面,它在非线性光学部件(101)外面被发射,并且跟作为基波的绿色激光束分隔开。在非线性光学部件(101)的外面被发射的绿色激光束被输入耦合镜(102)所反射,并且再次被施加到非线性光学部件(101),以便形成针对基波的一条闭合的光路。同样,在非线性光学部件(101)外面被发射的深紫外激光束,被输入耦合镜(102)以外的反射镜(28)所反射,以便从深紫外激光束产生部分(20)发出深紫外激光束。
搜索关键词: 激光束 产生 装置
【主权项】:
1.激光束产生装置包括:用于产生基波的波产生装置;非线性光学部件,用于接收由波产生装置产生的基波,并且让基波通过一条满足相位匹配条件的光路,由此产生谐波,所述非线性光学部件具有多个内部全反射平面,同时它被这样构成:按照与被施加到非线性光学部件的基波的轴相交的方向,发射在内部全反射平面上被顺序地反射的基波,以及借助于在非线性光学部件中的双反射以及在内部全反射各平面上的内部全反射,发射在内部全反射各平面上被顺序地反射的谐波,上述谐波在空间上偏离于基波。波反射装置,安装在被施加到非线性光学部件的基波的轴以及从非线性光学部件发射的基波的轴的交点上,用以反射从非线性光学部件发射的基波,并将该基波再次施加到该非线性光学部件;以及谐波反射装置,用于反射从非线性光学部件发出的、并且在空间上偏离于基波的谐波,由此从激光束产生装置发出谐波。
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