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- [发明专利]激光束产生装置-CN01124582.4无效
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金田有史
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索尼株式会社
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2001-08-09
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2002-02-27
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H01S3/108
- 深紫外激光束是一种谐波,它产生于非线性光学部件(101)里面,它在非线性光学部件(101)外面被发射,并且跟作为基波的绿色激光束分隔开。在非线性光学部件(101)的外面被发射的绿色激光束被输入耦合镜(102)所反射,并且再次被施加到非线性光学部件(101),以便形成针对基波的一条闭合的光路。同样,在非线性光学部件(101)外面被发射的深紫外激光束,被输入耦合镜(102)以外的反射镜(28)所反射,以便从深紫外激光束产生部分(20)发出深紫外激光束。
- 激光束产生装置
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