[发明专利]硅绝缘体结构半导体器件无效
申请号: | 01117888.4 | 申请日: | 2001-04-04 |
公开(公告)号: | CN1316781A | 公开(公告)日: | 2001-10-10 |
发明(设计)人: | A·O·阿丹 | 申请(专利权)人: | 夏普公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L27/12 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 陈霁,梁永 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种SOI结构的半导体器件,包括浮置状态下的表面半导体层,该层叠置于掩埋绝缘膜上,以便构成SOI衬底;第二导电类型的源/漏区,它们形成于所说表面半导体层中;位于源/漏之间的第一导电类型的沟道区;通过栅绝缘膜形成于沟道区上的栅极;其中表面半导体层具有在栅宽度方向上、在和/或靠近沟道区的至少一端形成于其中的第一导电类型的位阱。 | ||
搜索关键词: | 绝缘体 结构 半导体器件 | ||
【主权项】:
1、一种SOI结构的半导体器件,包括:浮置状态下的表面半导体层,该层叠置于掩埋绝缘膜上,以便构成SOI衬底;第二导电类型的源/漏区,它们形成于所说表面半导体层中;位于源/漏之间的第一导电类型的沟道区;和通过栅绝缘膜形成于沟道区上的栅极;其中表面半导体层具有在栅宽度方向上、在和/或靠近沟道区的至少一端形成于其中的第一导电类型的位阱。
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