[发明专利]制作微型刀具与立体微结构的方法无效
| 申请号： | 01104228.1 | 申请日： | 2001-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1371783A | 公开（公告）日： | 2002-10-02 |
| 发明（设计）人： | 林育生;陈世洲;谢重光 | 申请（专利权）人： | 兴隆发电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/28 | 分类号： | B23P15/28;B23P13/02;C25D3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒋旭荣 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作微型刀具与立体微结构的方法,利用一微型刀具在被加工材料表面切削,加工出与微型刀具的切削部位具有相反的截面形状;微型刀具的制作是通过在平面基板上涂附光阻剂,将光阻剂微影形成与微型刀具具有相应形状的铸模,使用铸模电铸成形微型刀具,再将微型刀具以与被加工材料表面垂直的方式安装,于被加工材料表面切削出微型立体结构。它可大幅提高立体微结构的生产速度,降低其生产的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 微型 刀具 立体 微结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制作立体微结构的方法，其特征在于，包括下列步骤：a.以微影方法制作一用以成形立体微结构的成型刀具的光刻模；b.以电铸方法于该光刻模中成形一微型刀具；c.将该微型刀具安装在一加工机床上，并利用该微型刀具对一被加工物进行切削，于该被加工物表面成形一与该微型刀具具有相对应形状的立体微结构。
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